日本三丰Mitutoyo Hyper QV WLI 363 系列 — 非接触式 3D 测量机
日本三丰Mitutoyo Hyper QV WLI 363 系列 — 非接触式 3D 测量机
• 1 台设备即可实现坐标,尺寸和 3D 形状的非接触测量。
• 配有白光干涉仪的高精度、双镜头影像测量系统。
• 白光干涉仪利用高纵横比对形状进行准确测量。
• 标准影像测量功能能够连续不间断地进行坐标、尺寸和 3D 形状测量。
• 大工作台能准确地处理大尺寸工件,如印制电路板。
Hyper QV WLI 302 Hyper QV WLI 404 Hyper QV WLI 606
测量范围 (X×Y×Z)影像测量区域 300×200×190 mm 400×400×240mm 600×650×220mm
WLI 测量区域 *1 215×200×190 mm 315×400×240mm 515×650×220mm
WLI 光学测头装置
视场 (H×V)10X 镜头 : 约 0.32×0.24mm / 25X 镜头 : 约 0.13×0.10mm
重复精度2σ 0.08µm
Z 轴扫描范围 *2 170µm
影像光学测头装置
放大倍率转换系统 PPT1X-2X-6X
影像测量方法 黑白CCD 照相机
照明装置 同轴照明 白色 LED
透射照明 白色 LED
程控环形照明 白色 LED
测量精度 E1X, E1Y (0.8+2L/1000)µm
E1Z (1.5+2L/1000)µm
E2XY (1.4+3L/1000)µm
主装置
分辨力 0.01µm
台面最大承重 15kg 25kg 35kg
导向系统直动式硬轴承
尺寸 (W×D×H)859×950×1606 mm1027×1407×1781 mm1309×1985×1792 mm
重量 (包括防振台架)约 490kg约 1160kg约 2275kg